製品紹介
装置部門・新規製作装置
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150mmRCA自動洗浄装置
75mm自動酸処理装置
200mm有機洗浄装置
治具洗浄装置
150mmHF洗浄装置
150mmRCA自動洗浄装置
『キャリア移し変え機構付』
200mmキャリアレス
自動洗浄装置
75mm2キャリア
有機自動洗浄装置
75mm2キャリア自動洗浄装置
『薬液供給ユニット付』
薬液調合供給ユニット
キャリア洗浄装置
150mmHF洗浄装置
125mm手動洗浄装置
50mm手動スピンコータ
100mmBHF洗浄装置
『薬液供給ユニット付』
濃度計ﾕﾆｯﾄ
グローブBOX
薬液供給ユニット
『２００L大型TYPE』
SUS作業テーブル
酸,アルカリ系薬液供給ユニット
有機系薬液供給ユニット
薬液調合供給ユニット
酸,アルカリ系薬品保管庫
有機系薬品保管庫
石英管洗浄装置
基板洗浄装置
基板洗浄装置 『量産型』
カセット洗浄機 『スピン乾燥型』
基板ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
薬液調合ﾕﾆｯﾄ『ﾌﾟﾗﾝﾄ向け』
大型基板反転装置
RCA洗浄装置『後ろメカTYPE』
ﾐｽﾄ乾燥機